Vakuuma metalizācijas iekārtas

Vai PVD pārklājumi ir droši?

Fizikālās tvaiku pārklāšanas procesi ir videi draudzīgs jeb "pārklāšanas" paņēmiens, kas ievērojami samazina toksisko vielu daudzumu, kas jāizmanto, jāpārvalda un jāiznīcina, salīdzinot ar citiem "slapjiem" procesiem, kuros tiek izmantoti šķidruma prekursori un ķīmiskās reakcijas, ko izmanto, lai sasniegtu tādu pašu rezultātu. . Tā kā tā spēj ražot ārkārtīgi tīrus, tīrus un izturīgus pārklājumus, fizikālā tvaiku pārklāšana ir izvēlēta tehnoloģija ķirurģijas un medicīnisko implantu nozarē.

Vai jūs zināt, kas ir pārklāšanas mašīna? Tas galvenokārt attiecas uz pārklājuma veidu, kas jāveic zem augsta vakuuma pakāpes, ieskaitot daudzus veidus, tostarp vakuuma jonu iztvaikošanu, magnetronu izsmidzināšanu, MBE molekulārā stara epitaksiju, PLD lāzera izsmidzināšanu un daudzus citus.

Vakuuma sistēmā ietilpst mehāniskais sūknis, kriogēnais sūknis, rupjmaiņas vārsts, priekšējās līnijas vārsts, aizbīdņa vārsts un vakuuma mērītājs vakuuma noteikšanai. Magnetrona izsmidzināšanas laikā ir jāsamazina slāpekļa, skābekļa un ūdens tvaiku ietekme uz procesu, tāpēc vakuuma pakāpei ir jābūt zemākai par 0,13 mPa ~ 4 Pa. Parasti izmanto Nowdry sūkni un kriogēno sūkni. Sausais sūknis tiek izmantots zema vakuuma sūknēšanai. Salīdzinot ar oriģinālo mehānisko eļļas sūkni, tas var novērst eļļas un gāzes iekļūšanu eļļas sūknī vakuuma kamerā, piesārņojot substrātu un samazinot saķeri starp plēvi un pamatni. Parasti pēc tam, kad sausais sūknis ir sūknēts zem 6,5 Pa, aizbīdņa vārsts tiek atvērts, un kriogēnais sūknis tiek izmantots augsta vakuuma sūknēšanai. Kriogēnajam sūknim raksturīgs liels sūknēšanas ātrums, jo īpaši ūdens tvaiku noņemšanas spēja ir ļoti spēcīga.

Izsmidzināšanas pārklājuma sistēma sastāv no līdzstrāvas barošanas avota, mērķa materiāla, dzesēšanas ūdens, pastāvīgā magnēta, substrāta sildīšanas ierīces, deflektora, ekranēšanas slāņa utt. Šī ir magnetrona izsmidzināšanas stacijas galvenā daļa. Līdzstrāvas barošanas avots nodrošina negatīvu augstu spriegumu 300-1 000 V apmērā un pieliek to mērķim, lai mērķis būtu pie katoda un substrāts - pie anoda. Dzesēšanas ūdens tiek izmantots mērķa materiāla atdzesēšanai, lai novērstu mērķa temperatūras pārāk strauju paaugstināšanos izsmidzināšanas dēļ. Dzesēšanas ūdens cauruļvadam jābūt izgatavotam no izolācijas materiāliem, piemēram, plastmasas caurulēm, nevis metāla caurulēm. Pamatnes sildīšanas ierīce var noņemt uz pamatnes netīrumus, piemēram, ūdens tvaikus, kas var uzlabot saķeri starp plēvi un pamatni. Turklāt dažiem metāliem piemērota temperatūra var uzlabot plēves kvalitāti.

Pieteikums

Parametrs

Mūsu kompānija

Populāri tagi: vakuuma metalizācijas iekārtas, Ķīna, piegādātāji, ražotāji, rūpnīca, pielāgota, pirkt, cena, citāts