Mūsdienu vakuuma pārklāšanas mašīnas plēves biezuma mērīšanas un uzraudzības metode

Vistiešākā pārklājuma kontroles metode ir Quartz Crystal Microbalance Method (QCM), kas var tieši vadīt iztvaikošanas avotu un pārslēgt deflektoru caur PID vadību, lai uzturētu iztvaikošanas ātrumu. Kamēr instruments ir savienots ar sistēmas vadības programmatūru, tas var kontrolēt visu pārklāšanas procesu. Taču (QCM) precizitāte ir ierobežota, daļēji tāpēc, ka tā uzrauga uzklājamā pārklājuma kvalitāti, nevis tā optisko biezumu.

Turklāt, lai gan QCM ir ļoti stabils zemākā temperatūrā, tas kļūst ļoti jutīgs pret temperatūru augstākās temperatūrās. Ilgstošas ​​karsēšanas laikā ir grūti novērst sensora iekrišanu šajā jutīgajā zonā, radot būtiskas kļūdas filmā.

Optiskā uzraudzība ir ieteicamā metode augstas precizitātes pārklājumiem, jo ​​tā ļauj precīzāk kontrolēt slāņa biezumu (ja tiek pareizi izmantots). Precizitātes uzlabošanās izriet no daudziem faktoriem, bet būtiskākais iemesls ir optiskā biezuma uzraudzība.

OPTIMALĀ SWA-I-05 viena viļņa garuma optiskā pārraudzības sistēma izmanto netiešus mērījumus un vadību, apvienojumā ar modernu optiskās uzraudzības programmatūru, ko izstrādājis doktors Vans, lai efektīvi uzlabotu teoriju un metodi par optiskās reakcijas jutīgumu pret plēves biezuma izmaiņām. samazināt galīgo kļūdu, nodrošinot atgriezeniskās saites vai pārraides režīmu izvēli un plašu uzraudzības viļņu garumu klāstu. Tas ir īpaši piemērots dažādu kārtiņu biezuma pārklājuma uzraudzībai, ieskaitot neregulāras plēves uzraudzību.