PVD apzeltīšanas mašīna

Izolatoru magnetrona reaktīvā izsmidzināšana šķiet vienkārša, bet faktiskā darbība ir sarežģīta. Galvenā problēma ir tā, ka reakcija notiek ne tikai uz detaļas virsmas, bet arī uz anoda, vakuuma kameras virsmas un virsmas. mērķa avots. Tādējādi izraisot ugunsgrēka dzēšanu, mērķa avotu un sagataves virsmas loka veidošanos utt. Dvīņu mērķa avota tehnoloģija, ko Leybold izgudroja Vācijā, ļoti labi atrisina šo problēmu. Princips ir tāds, ka mērķa avotu pāris ir viens otra katods un anods, tādējādi novēršot anoda virsmas oksidāciju vai nitridēšanu.

Dzesēšana ir nepieciešama visiem avotiem (magnetrons, daudzloka, joni), jo liela daļa enerģijas tiek pārvērsta siltumā. Ja nav dzesēšanas vai nepietiekama dzesēšana, šis karstums liks mērķa avota temperatūrai sasniegt vairāk nekā 1,000 grādus un izkausēs visu mērķa avotu. .

Magnetrona aprīkojums bieži ir ļoti dārgs, taču ir viegli tērēt naudu citam aprīkojumam, piemēram, vakuumsūknim, MFC, plēves biezuma mērīšanai un ignorēt mērķa avotu. Neatkarīgi no tā, cik labs ir magnetrona izsmidzināšanas aprīkojums bez laba mērķa avota, tas ir kā zīmēt pūķi bez pēdējā pieskāriena.

Vidējās frekvences izsmidzināšanas priekšrocība ir tā, ka tā var būt gluda un blīva. Plēves slāņa cietība ir augsta. Plēves biezums var augt lineāri. Nav saindēšanās. Vakuuma krāsns vairāku loku izsmidzināšana pieliek nelielu spriegumu un lielu strāvu uz mērķi, lai jonizētu materiālu (pozitīvi uzlādētas daļiņas), tādējādi lielā ātrumā atsitoties pret substrātu (negatīvi uzlādētu), veidojot blīvu plēvi un cietu plēvi. . Galvenokārt izmanto nodilumizturīgām un korozijizturīgām plēvēm. Trūkums ir tāds, ka pozitīvais un negatīvais elektriskās strāvas trieciens rada nevienmērīgu plēvi, caurumus un ablāciju.

Vidējās frekvences izsmidzināšanas princips ir tāds pats kā vispārējai līdzstrāvas izsmidzināšanai. Atšķirība ir tāda, ka līdzstrāvas izputināšanai cilindrs tiek izmantots kā anode, savukārt vidējās frekvences izsmidzināšana ir savienota pārī. Tas, vai cilindrs piedalās, ir atkarīgs no kopējās konstrukcijas un visas sistēmas. Izsmidzināšanas procesā anoda un katoda izvietojums ir saistīts, un ir daudz veidu, kā piedalīties attiecību ciklā. Ar dažādām metodēm var iegūt dažādus izsmidzināšanas rezultātus un atšķirīgu jonu blīvumu. Galvenā starpfrekvences izsmidzināšanas tehnoloģija ir barošanas avota konstrukcijā un pielietojumā. Pašlaik divas sinusoidālā viļņa un impulsa kvadrātveida viļņa izvadīšanas metodes ir vairāk nobriedušas. Katram ir savas priekšrocības un trūkumi. Pirmkārt, mums vajadzētu apsvērt filmas veidu un analizēt, kura jaudas izvades metode ir piemērota kādai filmai. Lai iegūtu vēlamo izvadi, varat izmantot barošanas avota raksturlielumus. filmas efekts.

Pieteikums

Parametrs

Mūsu kompānija

Populāri tagi: pvd zelta pārklājuma mašīna, Ķīna, piegādātāji, ražotāji, rūpnīca, pielāgota, pirkt, cena, citāts