Metalizācijas pārklāšanas mašīna

Visas priekšrocības, ko sniedz PVD pārklājuma process, kas rada dažas no mūsu laika visstingrākajām, izcilākajām un progresīvākajām tehnoloģijām, sākot no mikroshēmām līdz saules paneļiem, neviens nav svarīgāks par to, ka PVD pārklājumus var uzklāt bez toksiskiem atlikumiem vai blakusproduktiem. kas degradē mūsu planētas vidi.

Metallizējošās pārklāšanas mašīnas amatniecība

Izsmidzināšanas pārklājuma procesa koncepcija

Tā sauktais izsmidzināšanas pārklājums attiecas uz mērķa bombardēšanu ar enerģētiskām daļiņām (piemēram, pozitīvajiem joniem) vakuuma kamerā, lai atomi vai atomu grupas uz mērķa virsmas izplūstu, bet izplūdušie atomi veido plēvi uz virsmas. apstrādājamā detaļa ar tādu pašu sastāvu kā mērķim. , šo plānu kārtiņu sagatavošanas metodi sauc par izsmidzināšanu. Pašlaik izsmidzināšanu galvenokārt izmanto, lai veidotu metāla vai sakausējuma plānas plēves, īpaši elektronisko komponentu elektrodu un infrasarkano staru atstarojošo plēvju izgatavošanai uz stikla virsmām. Turklāt izsmidzināšanu izmanto arī, lai sagatavotu funkcionālas plānas plēves, piemēram, In2O3-SnO2 caurspīdīgas vadošas keramikas plānās plēves šķidro kristālu displeja ierīcēm.

Ir divi izsmidzināšanas pārklājuma veidi: vienu sauc par jonu staru izsmidzināšanu, kas attiecas uz mērķa virsmas bombardēšanu ar jonu staru vakuuma stāvoklī, lai izsmidzinātās daļiņas izveidotu plēvi uz substrāta virsmas. Šis process ir salīdzinoši dārgs, un to galvenokārt izmanto, lai sagatavotu īpašu. To sauc par katoda izsmidzināšanu, kurā galvenokārt izmanto zema spiediena gāzes izlādes fenomenu, lai plazmas stāvoklī esošie joni bombardētu mērķa virsmu un izsmidzinātās daļiņas nogulsnējas uz substrāts. Tas izmanto paralēlu plākšņu elektrodu struktūru, liela laukuma mērķis, kas izgatavots no membrānas materiāla, ir katods, un substrāts, kas atbalsta pamatni, ir anods, kas tiek uzstādīts zvana burkas tipa vakuuma konteinerā. Lai samazinātu piesārņojumu, spiediens zvana burkā vispirms tika sūknēts līdz mazākam par 10-3~10-4Pa un pēc tam piepildīts ar Ar, lai uzturētu spiedienu 1–10 Pa. Starp diviem elektrodiem uzputināšanas pārklājumam tiek pielikts vairāku tūkstošu voltu spriegums.

Salīdzinot ar iztvaikošanas pārklājumu, mērķa materiālam (plēves materiālam) nav fāzes mainoša izsmidzināšanas pārklājuma, savienojuma sastāvs ir stabils, un sakausējumu nav viegli frakcionēt, tāpēc sagatavošanai piemērotais plēves materiāls ir ļoti plašs. Tā kā izsmidzinot uz pamatnes nogulsnēto daļiņu enerģija ir 50 reizes lielāka nekā iztvaikošanas rezultātā, tām ir substrāta tīrīšanas un sildīšanas efekts, tāpēc izveidotajai plēvei ir spēcīga adhēzija. Jo īpaši ar izsmidzināšanas pārklājumu ir viegli kontrolēt plēves sastāvu. Izmantojot tiešu izsmidzināšanu vai reaktīvo izsmidzināšanu, var sagatavot dažādas sakausējuma plēves, saliktās plēves, daudzslāņu plēves un kompozītmateriālu plēves ar lieliem un vienādiem laukumiem. Izsmidzināšanas pārklājumu ir viegli realizēt nepārtraukta, automatizēta darbība un liela mēroga ražošana. Tomēr, tā kā izsmidzināšanas laikā tiek izmantots augsts spriegums un gāze, ierīce ir salīdzinoši sarežģīta, plāno kārtiņu viegli ietekmē izsmidzināšanas atmosfēra, un arī plānās kārtiņas nogulsnēšanās ātrums ir zems. Turklāt izsmidzināšanas pārklājumam iepriekš jāsagatavo dažādu komponentu mērķi, kas ir neērti mērķa ielādēšanai un izkraušanai, un mērķa izmantošanas līmenis nav pārāk augsts.

Parametrs

Pieteikums

Mūsu kompānija

Populāri tagi: metalizācijas pārklāšanas mašīna, Ķīna, piegādātāji, ražotāji, rūpnīca, pielāgota, pirkšana, cena, citāts